스마트 팩토리

Overhead Hoist Transport Wheel Measurement System

OHT 휠 측정시스템 (OHT-WMS)

반도체 FAB내 핵심 물류 이송장비인 OHT 주행 Wheel 마모도를
실시간으로 측정하고 데이터를 FAB 시스템에 전송하여
OHT 휠의 안정적인 운영과 유지보수를 기능을 담당

• 레이저 변위센서를 이용한 휠의 변위 측정
• 레이저 변위센서가 설치된 위치를 OHT가 통과할때 자동으로 측정
• 카메라 기반 OHT ID 인식기능, 포토센서 기반 OHT 정지 등의 이슈감지 기능 포함
• Raw Data 보관 및 OHT ID별 휠 상태 데이터를 서버로 전송
• Rail에 장착하는 방식으로 Rail의 처짐, 이상진동 감지 기능 확장 가능
• CE, UL, ISO 9001, 14001, 45001 획득
• 고유 기술 특허 보유
• 반도체 라인 표준화 및 독점 공급 중

Reference

• 국내 반도체 라인 40개소 이상, 미국, 중국 반도체 라인 추가 설치 진행 중
• 반도체, 디스플레이, 2차전지, 자동차 OHT 물류이송장비 적용 가능