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SMART FACTORY

스마트 팩토리

Semiconductor automation equipment

반도체 자동화 장비

반도체 제조 공정의 핵심 물류 이송 장비인 OHT의 품질관리를 위한 크리닝자동화 장비
개발하여 Clean 물류 시스템 사업화도 활발하게 진행 중에 있습니다.

Overhead Hoist Transport Cleaning System

OHT 크리닝 자동화 시스템 (OHT-OCS)

반도체 FAB내 핵심 물류 이송장비인 OHT의 외부 Paticle(휠 분진, 먼지)
정착물 자동 세정 장비로 OHT 품질 관리로 Clean 물류시스템 기능을 담당
  • 독자적인 공압(Blowing & Suction) 기술 적용
  • 레이저 변위센서가 설치된 위치를 OHT가 통과할때 자동으로 측정
  • 설치 공간의 제약이 적음, 기존라인에 설치, 고객사 요구에 맞춤 설계 가능
  • CE, UL인증
  • 기술 특허

Reference

  • 국내 반도체 라인 구축 진행 중
  • 반도체, 디스플레이, 2차 전지, 자동차 분야 OHT 물류이송장비 적용 가능